MEMS Capacitive Accelerometers

1000 Series - Low Noise Differential Ended

Uniaxial
Range             : 2 - 200 g
Frequency     : 250 - 1,500 Hz (±%5)
Sensitivity      : 1350 - 13.5 mV/g
Noise              : 7 - 678 μg/√Hz

1000SE Series -  Low Noise Single Ended

Uniaxial
Range             : 2 - 40 g
Frequency     : 1,500 Hz (±%5)
Sensitivity      : 400 - 20 mV/g
Noise              : 20 - 300 μg/√Hz

2000HF Series -  High Frequency

Uniaxial
Range             : 50 - 500 g
Frequency     : 3,000 Hz (±%5)
Sensitivity      : 40 - 4 mV/g
Noise              : 25 - 125 μg/√Hz

3000 Series - Low Noise Differential Ended

Triaxial
Range             : 2 - 200 g
Frequency     : 250 - 1,500 Hz
Sensitivity      : 1350 - 13.5 mV/g
Noise              : 7 - 678 μg/√Hz

3000SE Series -  Low Noise Single Ended

Triaxial
Range             : 2 - 40 g
Frequency     : 1,500 Hz
Sensitivity      : 400 - 20 mV/g
Noise              : 20 - 300 μg/√Hz

4000HF Series -  High Frequency

Triaxial
Range             : 50 - 500 g
Frequency     : 3,000 Hz (±%5)
Sensitivity      : 40 - 4 mV/g
Noise              : 25 - 125 μg/√Hz